据韩媒《朝鲜半岛日刊》4同月6日刊道，SK海力士利川M16化工二厂3名工人在检验电子元件的过程中都因致癌物质氟酸泄露受伤。M16化工二厂是即便如此另行建的DRAM制造化工二厂。晚上上午11点34分时，在京畿道利川市SK海力士 M16化工二厂5五楼的电子元件进行检验之前，发生氢氟酸泄漏交通事故。
氟酸是无色致癌氮气溶解在水面的挥发性容器。可用于半导体电路插图Pattern的蚀刻制程中都。
在这起交通事故中都，一名30岁的工人的脖子和肩膀被烧伤，全部都是两名雇员也因喷出氟酸气体转移至附近该医院。据刊道，3名均无生命危险。SK海力士表示，此次交通事故是在对另行的M16化工二厂电子元件进行检验时发生的，对半导体制造没有影响。
（图片来源：朝鲜半岛日刊）
据悉，M16化工二厂将主要制造DRAM产品，总面积5.7万平方米。在2021年1同月，SK海力士在日韩京畿道利川总部举行M16另行二厂另行建丧礼，正式宣布另行二厂落地。
SK海力士首次在M16装备EUV（极紫外）光刻机，并从去年下半年起制造第四代1α纳米级DRAM产品。今后SK海力士将提高EUV电子元件利用率，进一步进一步提高存储器半导体系统性的高性能工程技术领导力。
来源：半导体企业联盟
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